真空泵機組并取得德國專利 , 年又發明氣鎮泵 ,年取得專利以來, 旋片真空泵得到廣泛應用和不斷完善。 真空泵機組 國際上出現了提高轉速 、 直聯的小型化趨勢, 年代初出現了直聯系列產品, 到 年代初, 又推出了改進的系列產品, 有多種可供用戶選配的附件, 可以保護泵, 或保護環境, 泵本身結構也有改進而使可靠性提高 。在泵的結構方面 , 為了能在停泵時防止返油 , 有的設有能自動切斷油路的止回閥, 有的設有進氣通道截止閥。
有的為了能在泵開氣鎮運轉突然停電時自動切斷氣路來保持泵口處于真空狀態而設有油泵和控制結構 。在附件方面 ,有消霧器 、氣味過濾器 、阻擋碎玻璃等雜物用的入口過濾器 、灰塵過濾器 、蒸汽凝結阱 、化學阱 , 有控制泵溫 以提高水蒸氣抽除率和保護泵的溫控水量調節閥 。到了 年代末 又推出了油過濾器 、能監視油溫 、 油壓 、油質等的電子顯示器, 甚至可以與計算機聯接, 進行自動控制, 采用強制潤滑和風冷, 使泵的連續工作入口壓力達, 甚至更高, 同一臺泵的適用范圍因而更大 ` 。在轉子與定子的相對位置上 , 也有人做了研究 , 例如采用偏側心 , 下偏心等 。