真空泵機組是一種旋轉式變容積氣體輸送泵,包括干式螺桿真空泵機組、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵,真空泵機組具有在較寬的壓力范圍內有較大的抽速等特點,被廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。特點
(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;
(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現較高轉速;
(3)泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統的污染;
(4)泵腔內無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
(5)壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;
(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。
結構拆卸檢修過程中還發現真空泵機組非驅端軸承止推間隙增大。非驅端軸承為圓柱輥子止推軸承,型號為NUP222EM ,發揮著對葉輪定位的作用。此軸承止推間隙增大導致運行過程中葉輪竄量增加。與此同時,排氣圓盤表面結垢嚴重,葉輪端面與吸排氣圓盤之間的間隙因吸排氣圓盤表面結垢而減小。轉子竄量增大而葉輪與吸排氣圓盤之間的間隙減小,導致葉輪竄與吸排氣圓盤內表面發生嚴重摩擦。