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    內壓縮螺桿水環真空泵抽氣工作原理

    點擊次數：165 更新時間：2018-12-12 10:37:42 來源：http://www.sidusanimation.com/ 【關閉】
             水環真空泵密封型螺桿端面型線和內壓縮螺桿設計方法建立不同類型通道間隙及其計算模型以及基于等熵流動的孔徑流量系數法的質量流返流計算模型用于內壓縮干式螺桿真空泵的工作特性的仿真設計水環真空泵研制具有自主知識產權的螺桿型線、變螺距螺桿齒形，用于內壓縮干式螺桿真空泵。論文研究結果對于突破國外技術壟斷，提升國內螺桿真空泵設計水平，豐富國內干式螺桿真空泵產品線，推動我國真空泵產業的產業結構調整，促進我國螺桿真空泵產業的健康發展，推廣節能環保的干式螺桿真空泵產品的應用以及促進制造業的節能減排方面都具有重大的技術、社會和經濟意義。真空泵核心技術是螺桿齒形，不同的齒形直接決定了泵的極限真空、抽氣速率、容積效率、振動和噪聲等技術性能指標的差異。螺桿齒形由螺桿轉子端面型線沿軸向螺旋變化形成的，螺桿真空泵轉子的端面型線由圓弧、漸開線、擺線、阿基米德線。
            其它二次曲線等曲線組成，一般通過嚙合原理形成轉子型線，主要分為單頭轉子型線和多頭轉子型線兩種。螺桿轉子源自螺桿壓縮機的多頭轉子型線，日立公司很早就把多頭螺桿轉子型線用在真空泵上，但該多頭轉子存在泄漏三角區，導致多頭螺桿真空泵的極限真空度較低，且其加工難度大，造價昂貴，因而該類螺桿真空泵市場占有比率少。為適應市場需求，國外各公司研發出了具有知識產權的單頭螺桿轉子型線其中日本大晃株式等會社研發的型線由圓弧、擺線、阿基米德線組成。以上的螺桿真空泵的引導線為常數，介質（主要是氣體）在泵體內部等體積傳輸，在排氣口壓縮，屬于外部壓縮，該類螺桿式設計，氣體通路短，氣體在泵體內停留時間也短，輸送階段無內部壓縮，在很多復雜的半導體工藝中表現出極高的穩定性。
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