真空泵機組是將真空泵與相應的真空元件按其性能要求組合起來構成的抽氣裝置。其特點是結構緊湊,安裝使用方便真空泵機組真空抽氣機組可以分為低真空抽氣機組、中真空機組、高真空機組、超高真空機組、無油真空機組等。真空機組的名稱以主泵命名,如:擴散泵機組、分子泵機組等低真空抽氣機組低真空抽氣機組的工作壓力范圍約在1330～100Pa之間,其主要特點是工作壓力高、排氣量大,抽速比中、高真空機組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大、工作壓力又高的真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣(鋼水處理)等裝置中。低真空抽氣機組的主泵常用往復式真空泵、油封式機械泵、干式機械泵、水噴射泵、水蒸汽噴射泵、水環泵,分子篩吸附泵、濕式羅茨泵等。一般情況下,低真空機組中的主泵均能直接排大氣。
使用低真空抽氣機組,還需要根據抽氣體的清潔程度、濕度或其他特殊要求,配置必要的除塵器、水氣分離器、油水分離器、干燥或擋油阱等部件油封機械泵機組抽除可凝性氣體的措施油封機械泵不適于抽除含有大量水蒸汽的氣體。水蒸汽在壓縮過程中會凝結成水滴,并與泵油混合形成懸浮液,破壞泵的抽氣性能,使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用帶有氣鎮裝置的油封機械泵,并使泵的工作溫度控制在75～90℃之間,以減少氣鎮閥負擔;在機組中安裝水汽分離器或油水分離裝置,將混有水的機械泵油進行處理,處理過的油再進入泵中使用;使用各種干燥吸附劑做成捕集阱吸收水蒸汽;使用各種冷凝器或冷阱,不僅能有效地吸附水蒸汽,同時還可阻擋機械泵的油蒸汽向真空室的返流。
