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真空泵機組羅茨轉子復合式干泵工作原理

點擊次數:1545 更新時間:2019-01-18 09:46:32 來源:http://www.sidusanimation.com/ 【關閉
         真空泵機組主要指是不帶真空室的排氣系統它由多種真空元件組成主要包括真空泵、真空閥門、波紋管、真空計等元器件。真空機泵組均以主泵命名目前國產的真空泵機組主要有油增壓泵機組、擴散泵機組、鈦吸附泵機組和分子泵機組其中分子泵機組在半導體工業、航天試驗以及一些其他領域有著廣泛應用。泵類元件的設計是一個不斷改進、優化的過程借助于數值仿真環節可以部分地克服這些傳統設計、制造手段的弊端使驗證工作轉到了計算機虛擬平臺上減少實驗的工作量降低成本提高安全性。本課題主要采用計算流體力學仿真商用軟件對牽引分子泵的流場流態進行了仿真分析。進行真空機組的總體方案設計。通過研究國內外潔凈真空獲得設備的發展歷程和方向結合終端組件工作指標要求提出了超潔凈分子泵機組的概同時進行了真空泵的配置、真空元件的選擇以及真空機組抽氣性能的校驗進行分子泵流場和結構的數值模擬。
         針對多螺旋槽牽引分子泵設計理論不成熟抽氣性能校驗方法不完善的特點利用商用C對多螺旋槽結構的流場特性進行了數值模擬;針對渦輪分子泵中葉片結構緊湊、易發生破壞的特點利用有限元軟件對渦輪分子泵中轉子系統進行動力學特性仿真主要包括轉子葉片固有頻率、振型、離心變形、應力分布等方面。并且利用基于力錘激勵的模態實驗以F-350型渦輪分子泵的轉子葉片為研究對象驗證了所用分析軟件在渦輪分子泵子葉片結構分析方面的可靠性低真空機組的主泵主要采用油封真空泵、水蒸氣噴射泵、油蒸汽噴射泵等。低真空機組的主要特點是工作壓力高,排氣量大,但抽速比較低。多用于真空室的粗抽,以及放氣量很大、工作壓力較高的真空輸送、真空過濾等裝置中。中高真空機組常用以獲得1~10-3Pa的工作壓強,機組的主泵通常用油擴散泵、擴散增壓泵、分子泵、鈦泵等,這些基本不能直通大氣,需要配置預抽泵或前級維持泵。

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